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產品詳情
簡單介紹：
iH1800HTX Edwards半導體干式真空泵為難以執行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。
iH1800HTX Edwards半導體干式真空泵在節省電機功率的同時大程度提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。
詳情介紹：
iH1800HTX Edwards半導體干式真空泵概述
Edwards 半導體真空泵已經過現場應用證明，可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率，同時大程度地減小占地面積、降低運行成本，實現了高的性和性能。iH 系列為難以執行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。
iH1800HTX 專為需要較高的工作溫度以避免制程氣體冷凝的工藝（如 300 mm LPCVD 氮化物）而設計。
iH1800HTX Edwards半導體干式真空泵應用
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
有關任何特定應用條件下 iH 系統穩定性的建議，請與 Edwards 聯系。
iH1800HTX Edwards半導體干式真空泵功能和優勢
優化了設施消耗。
無需預防性維護。
懸臂軸和的異型轉子便于顆粒的處理。
在節省電機功率的同時大程度提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的。
整體式軸桿無需使用電機聯結器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。
iH1800HTX Edwards半導體干式真空泵數據
| 峰值速度 | 1800 m3h-1 |
| 1060 cfm | |
| 30000 l min-1 | |
| 極限真空 | 1 x 10-3 mbar |
| 7.5 x 10-4 Torr | |
| 0.1 Pa | |
| 典型軸封氮流量 | 4 slm |
| 進氣口連接 | ISO160 |
| 連接 | NW40 |
| 15 psi 壓降下典型冷卻水流量 | 240 l h-1 |
| 4 l min-1 | |
| 重量 | 502 kg |
| 極限功率輸入 | 4.1 kW |
| 電機額定功率 | 7.0 kW |
| 油容量 | 1.6 l |
數字均為無氣鎮時的典型值。
iH1800HTX Edwards半導體干式真空泵訂購信息
iH1800HTX 干式泵 460V，60 Hz，3 相 A59042908
iH1800HTX 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相 A59042945
iH1800HTX 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相 A59042946
iH1800HTX 干式泵 230V，60 Hz，3 相 A59042957
iH1800HTX 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相 A59062945
